硅的生产工艺流程有哪些?

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~ 硅的生产工艺流程主要包括以下几个步骤:
1. 加料熔化:将多晶硅原料和根据所需电阻类型添加的杂质(如硼、磷、锑、砷)放入石英坩埚中。然后在石英坩埚内抽真空并注入高纯氩气,以维持一定的压力范围。接着开启石墨加热器电源,将温度升至熔化温度(约1420℃),使多晶硅原料熔化。
2. 缩颈生长:在硅熔体温度稳定后,缓慢将籽晶浸入硅熔体中。由于热应力,籽晶可能会产生位错。通过缩颈生长过程,即快速提升籽晶,使其直径缩小至一定大小(4-6mm),位错得以从晶体表面消失,形成零位错的晶体。
3. 放肩生长:在完成细颈生长后,降低温度和拉速,使晶体直径逐渐增大至所需大小。
4. 等径生长:在细颈和肩部生长完成后,通过调整拉速和温度,使晶棒直径保持在正负2mm之间,这一段直径固定的部分称为等径部分。单晶硅片即取自等径部分。
5. 尾部生长:等径生长完成后,若立即将晶棒与液面分离,热应力可能导致位错和滑移线的出现。因此,在分离前需逐渐减小晶棒直径至尖点状,这一过程称为尾部生长。完成后,晶棒被升至上炉室冷却一段时间,标志着一次生长周期的结束。

有谁知道单晶硅生产流程的请详细说下
答:生产工艺流程具体介绍如下:切片:将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片。此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣。退火:双工位热氧化炉经氮气吹扫后,用红外加热至300~500℃,硅片表面和氧气发生反应,使硅片表面形成二氧化硅保护层。倒角:将退火的硅片进行修整成圆弧形,防止硅片边缘破裂及晶格...

多晶硅生产工艺流程
答:多晶硅生产工艺流程如下:1、石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅,其化学反应SiO_+C→Si+CO_↑。2、为了满足高纯度的需要,必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl_)。其化学反应Si+HCl→SiHCl_+H_↑,反应温度为...

晶体硅太阳电池制备的基本工艺?
答:1个回答 #热议# 生活中有哪些成瘾食物?12345A帮助 2012-06-14 · TA获得超过123万个赞 知道顶级答主 回答量:65.3万 采纳率:0% 帮助的人:56.6亿 我也去答题访问个人页 展开全部 太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测——表面制绒——扩散制结——去磷硅玻璃——等离子刻蚀——镀减反射膜—...

单晶硅,多晶硅生产流程。
答:氮气是无害气体,因此正常情况下还原炉开、停车阶段无有害气体排放。废石墨由原生产厂回收,清洗废水送项目含氯化物酸碱废水处理系统处理。 7 、还原尾气干法分离工序从三氯氢硅氢还原工序来的还原尾气经此工序被分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢气体,分别循环回装置使用。还原尾气干法分离的原理和流程与三氯氢硅合成...

金属硅的硅的冶炼工艺
答:下面介绍一下金属硅的冶炼工艺及流程。1、 生产化学工业用硅的必要性我国生产的金属硅(硅含量主要是98.5%),原来主要是冶金用硅,化学用金属硅(硅含量主要是99.85%)的生产主要是从90年代中期以来有所发展,我国化学用硅的产量和出口量增长较快。1999年-2001年我国对日本出口的化学用硅已分别达到2.2万吨、3万吨、4...

多晶硅生产工艺流程是什么?
答:多晶硅生产工艺流程是石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅,其化学反应SiO2+C→Si+CO2↑为了满足高纯度的需要,必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,以高纯的SiHCl3在H2气氛中...

碳化硅生产工艺流程详细介绍?碳化硅生产工艺流程以及工作原理介绍?
答:1、主要生产工艺 碳化硅生产工艺流程简述如下:⑴、原料破碎 采用锤式破碎机对石油焦进行破碎,破碎到工艺要求的粒径。⑵、配料与混料 配料与混料是按照规定配方进行称量和混匀的过程。本项目配料采用平台,混料采用混凝土搅拌机,按照工艺要求对石油焦和石英砂进行配料、混料作业。⑶、电炉准备 电炉准备是把...

高纯度晶硅生产对人的危害?有了解高纯晶硅生产工艺的朋友吗?谢谢,最近...
答:高纯度晶硅生产就整体工艺过程对人体无害或很少伤害,我有个亲人在生产车间干了一辈子,直到正常退休。单晶硅片的生产工艺流程 单晶硅是从大自然丰富的硅原料中提纯制造出多晶硅,再通过区熔或直拉法生产出区熔单晶或直拉单晶硅,进一步形成硅片、抛光片、外延片等。直拉法生长出的单晶硅,用在生产低功率...

多晶硅生产工艺流程如下:(1)粗硅粉碎的目的是___.分离SiHCl3(l)和S...
答:反应过程中生成物有:SiHCl3、H2、SiCl4、HCl,所以在反应物中和生成物中都有的物质是HCl、H2,所以流程中可循环使用的物质是HCl、H2;故答案为:HCl、H2;(4)SiCl4与上述流程中的硅和氢气发生化合反应,可以制得SiHCl3:3SiCl4+Si+2H2═4SiHCl3,故答案为:3SiCl4+Si+2H2═4SiHCl3;

多晶硅生产流程是什么?
答:3、第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯,需要分解:过滤硅粉,冷凝SiНСl₃,SiCl₄,而气态Н₂,НСl返回到反应中或排放到大气中。然后分解冷凝物SiНСl₃,SiCl₄,净化三氯氢硅(多级精馏)。4、净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,以高纯的SiHCl3在...