多晶硅生产工艺流程是什么?

作者&投稿:奚房 (若有异议请与网页底部的电邮联系)
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多晶硅生产工艺流程是石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅,化学反应SiO2+C→Si+CO2↑为了满足高纯度的需要,必须进一步提纯。

把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中,生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺,以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成多晶硅。

反应分析

化学反应SiHCl3+H2→Si+HCl。

多晶硅的反应容器为密封的,用电加热硅池硅棒(直径5-10毫米,长度1.5-2米,数量80根),在1050-1100度在棒上生长多晶硅,直径可达到150-200毫米。

这样大约三分之一的三氯氢硅发生反应,并生成多晶硅。剩余部分同Н2,НС1,SiНС13,SiC14从反应容器中分离。这些混合物进行低温分离,或再利用,或返回到整个反应中。



电子级多晶硅的生产工艺
答:安全性、运输和存贮的可行性、有用沉积比、沉积速率、一次转换率、生长温度、电耗和价格进行了对比;对还原或热分解使用的反应器即钟罩式反应器、流床反应器和自由空间反应器也进行了比较。介绍了用三氯氢硅钟罩式反应器法生产多晶硅三代流程。第三代多晶硅流程适于1000t/a级的电子级多晶硅生产。

单晶硅和多晶硅区别什么? 制造方法有何不同?
答:从工业化发展来看,重心已由单晶向多晶方向发展,主要原因为;[1]可供应太阳电池的头尾料愈来愈少;[2] 对太阳电池来讲,方形基片更合算,通过浇铸法和直接凝固法所获得的多晶硅可直接获得方形材料;[3]多晶硅的生产工艺不断取得进展,全自动浇铸炉每生产周期(50小时)可生产200公斤以上的硅锭,晶粒...

请问有人知道多晶硅的工艺指标吗?
答:(4)太阳能级多晶硅新工艺技术 除了上述改良西门子法、硅烷热分解法、流化床反应炉法三种方法生产电子级与太阳能级多晶硅以外,还涌现出几种专门生产太阳能级多晶硅新工艺技术。A、冶金法生产太阳能级多晶硅 主要工艺是:选择纯度较好的工业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭,去除硅锭中金属杂质...

高纯硅是什么制造的?
答:高纯硅的制备化学方程式:SiO2+C=Si+2CO,Si+2Cl2=SiCl4,SiCl4+2H2=Si+4HCl,反应条件都是:高温。高纯硅的制备一般首先由硅石(SiO2)制得工业硅(粗硅),再制成高纯的多晶硅,最后拉制成半导体材料硅单晶。多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格...

多晶硅的原料
答:多晶硅和单晶硅是太阳能电池的主流材料,市场份额超过90%。长期以来,多晶硅材料的生产技术一直掌握在美国、日本、德国等3个国家7家公司的10家工厂手中,造成技术封锁和市场垄断。今天主要讲解一下什么是多晶硅。多晶硅生产的原料有哪些?什么是多晶硅?1.什么是多晶硅?它是多晶硅的一种形式。当熔融的元素硅...

在生产多晶硅方面一共有多少种工艺,哪些工艺会用到除尘设备。具体用在...
答:多晶硅生产包括,(氯氢化)有的公司没有,精馏,还原,气体回收,四个主要单元循环生产,辅助单元硅芯拉制单元,包装破碎单元。其中,还原单元使用的硅芯是在洁净厂房内生产。所以多晶硅生产有还原,和硅芯拉制2个单元对洁净要求很高,对空气中粉尘含量控制严格,必须用除尘设备。

有谁知道芯片是如何制作的呢?能谈一谈你的想法吗?
答:硅棒也十分艰苦,直径三毫米的金属丝就能支撑起它的重量。再通过化学品和X光检查单晶硅的纯度与分子,定下后就可以将他送进单晶硅切片机进行切片。这台十吨重的钢丝锯利用高速移动的抄袭钢丝网将硅棒切成厚度只有2/3毫米的硅晶片。在切割过程中,硅晶片表面会留下细微的痕迹,因此要进行抛光打磨,也叫...

晶圆的制造过程
答:熔化的多晶硅会粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不断地生长上去。因此所生长的晶体的方向性是由籽晶所决定的,在其被拉出和冷却后就生长成了与籽晶内部晶格方向相同的单晶硅棒。用直拉法生长后,单晶棒将按适当的尺寸进行切割,然后进行研磨,将凹凸的切痕磨掉,再用化学机械抛光工艺使其至少...

工业硅的冶炼工艺和技术
答:其化学反应Si+3HCl=SiHCl3+H2 在此基础上还需要进一步提纯,经过一系列化学分离提纯工艺除去一些电活性杂质,碳和过渡元素杂质,才能使SiHCl3 的纯度达到半导体级的标准要求。多晶硅采用高温还原工艺,以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成。其化学反应SiHCl3+H2=Si+3HCl。经过如此提纯工艺技术,可生产...

多晶硅太阳能电池的电池工艺
答:a.发射区的形成利用丝网印刷形成PN结,代替常规的管式炉扩散工艺。一般在多晶硅的正面印刷含磷的浆料、在反面印刷含铝的金属浆料。印刷完成后,扩散可在网带炉中完成(通常温度在900度),这样,印刷、烘干、扩散可形成连续性生产。丝网印刷扩散技术所形成的发射区通常表面浓度比较高,则表面光生载流子复合较...