薄膜测厚仪的工作原理和特点是什么?

作者&投稿:姚鸿 (若有异议请与网页底部的电邮联系)
薄膜测厚仪原理是什么?如何使用?~


对于光学薄膜厚度测量这一操作原理,大家应该不是很清楚,我们借用工具来说明下。深圳大成精密研制了一款光学干涉测厚仪(锂电池测厚仪),利用光入射不同界面发生反射和透射而产生干涉条纹的原理,从而测量得出被测物的厚度。有这个需要的话,大家放心选择该品牌产品,操作简单、质量可靠。

在被测量的薄膜上垂直照射可视光,光的一部分在膜的表面反射,另一部分透进薄膜,然后在膜与底层之间的界面反射,薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。利用白光干涉测量法的原理,它用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据,由于反射率n和k随薄膜的不同而变化,根据这一特性进行曲线拟合从而求得膜厚。不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述,从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。
大成精密设备薄膜测厚仪采用非放射性先进测量技术,是测量隔膜厚度的理想解决方案。

干膜还是湿膜呢?什么基材上的薄膜呢?如果是涂层测厚仪的话,它有两种原理,磁性原理和涡流原理,
磁性原理的特点是测量金属基材(如:钢、铁)上非磁性覆层的厚度,涡流原理的特点是测量非磁性金属基体(如:铝、铜、不锈钢)上非导电覆层的厚度,广州东儒有一款DR380可以同时满足这两种原理的检测。

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光学薄膜测厚仪 (SpectraThick Series) 的核心技术介绍和原理说明

广州市金都恩科精密仪器有限公司为您解答:

 

SpectraThick series的特点是非接触, 非破坏方式测量,无需样品的前处理,软件支持Windows操作系统等。ST series是使用可视光测量wafer,glass等substrates上形成的氧化膜,氮化膜,Photo-resist等非金属薄膜厚度的仪器。

 

测量原理如下:在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光,这时光的一部分在膜的表面反射,另一部分透进薄膜,然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。

 

仪器的光源使用Tungsten
Lamp,波长范围是400 nm ~ 800 nm。从ST2000到ST7000使用这种原理,测量面积的直径大小是4μm ~ 40μm (2μm ~ 20μm optional)。ST8000-Map作为K-MAC (株) 最主要的产品之一,有image processs功能,是超越一般薄膜厚度测量仪器极限的新概念上的厚度测量仪器。测量面积的最小直径为0.2μm,远超过一般厚度测量仪器的测量极限 (4μm)。顺次测量数十个点才能得到的厚度地图 (Thickness Map) 也可一次测量得到,使速度和精确度都大大提高。这一技术已经申请专利。

 

韩国K-MAC (株)
SpectraThick series的又一优点是一般仪器无法测量的粗糙表面 (例如铁板,铜板) 上形成的薄膜厚度也可以测量。这是称为VisualThick OS的新概念上的测量原理。除测量薄膜厚度外还有测量透射率,玻璃上形成的ITO薄膜的表面电阻,接触角度 (Contact Angle) 等的功能,目前国内外知名的半导体行业及光刻胶等相关行业的很多企业都选择K-MAC膜厚仪,广州市金都恩科精密仪器有限公司是中国区总代理,进入企业网站可以详细了解不同应用的仪器。

 

产品说明

 

本仪器是把UV-Vis光照在测量对象上,利用从测量对象中反射出来的光线测量膜的厚度的产品。

 

这种产品主要用于研究开发或生产导电体薄膜现场,特别在半导体及有关Display工作中作为

 

In-Line monitoring 仪器使用。

 

产品特性

 

1) 因为是利用光的方式,所以是非接触式,非破坏式,不会影响实验样品。

 

2) 可获得薄膜的厚度和 n,k 数据。

 

3) 测量迅速正确,且不必为测量而破坏或加工实验样品。



MC-2000涂层测厚仪特点与功能
答:MC-2000涂层测厚仪是一款专为非破坏性测量铁磁材料上非磁性涂层厚度设计的精密仪器。它能够准确测定如钢铁表面锌、铜、铬等镀层,以及油漆、搪瓷、玻璃钢、喷塑和沥青等多种涂层的厚度,操作简便,灵活性极高。单探头配置使其适用于广泛的应用场景,无论是对铁质底材上的大部分覆层测量,都能轻松应对。

膜厚仪的(XRD)
答:膜厚仪也叫X射线测厚仪,它的原理是物质经X射线或粒子射线照射后,由于吸收多 余的能量而变成不稳定的状态。从不稳定状态要回到稳定状态,此物质必需将多余的能量释放出来,而此时是以荧光或光的形态被释放出来。荧光X射线镀层厚度测量仪或成分分析仪的原理就是测量这被释放出来的荧光的能量及强度,来...

在线测厚仪测量原理是什么?具有什么特点?
答:ZTMS08激光测厚是利用两个激光传感器的对射方式进行厚度测量,将传感器固定在稳定的支架上,确保两个传感器的激光能再同一点上。在线测厚仪主要特点 测厚量程量身定制,最高精度0.5um;高速在线测量,最高测量值/秒;多点测量,一台工控机可连接点在线测厚仪;可连接生产线自动控制系统,实现闭环控制;可...

单用测厚仪测试运作原理是什么?
答:在工业生产中常用来连续或抽样测量产品的厚度(如钢板、钢带、薄膜、纸张、金属箔片等材料)。这类仪表中有利用α射线、β射线、γ射线穿透特性的放射性厚度计;有利用超声波频率变化的超声波厚度计;有利用涡流原理的电涡流厚度计;还有利用机械接触式测量原理的测厚仪等。单用测厚仪:采用磁性测厚方法...

超声测厚仪工作条件是什么?
答:超声波测厚仪是根据超声波脉冲反射原理来进行厚度测量的,当探头发射的超声波脉冲通过被测物体到达材料分界面时,脉冲被反射回探头通过精确测量超声波在材料中传播的时间来确定被测材料的厚度。 超声波测厚仪是根据超声波脉冲反射原理来进行厚度测量的,当探头发射的超声波脉冲通过被测物体到达材料分界面时,脉冲被反射回...

涂层测厚仪AN220产品详情
答:AN220数字式涂层测厚仪是一款涡流便携式设备,专为非磁性金属基体上的非导电覆盖层厚度测量设计。其特点是采用涡流测厚技术,能快速、无损并精确测量,适用于实验室和工程现场。它具有多种测量方式,如连续和单次,以及工作方式,包括直接和成组,支持五个统计量的记录。AN220提供校准功能,支持两种校准...

薄膜测厚仪如何使用 具体检测方法有哪些
答:在一开始的时候,应该要充分明确薄膜测厚仪的工作原理。在整个测量过程中,主要是相应的距离比例。通过对相关距离的测量,相应的覆盖厚度,自然会有所提高。尤其是很多工业品,都采用了结构钢和热轧冷轧冲压成形,因此磁性测量应用范围,相对而言更加广泛。特别是明确磁钢与被测量物体吸收特性的时候,应该要...

测厚仪?
答:测厚仪有涂层测厚仪、超声波测厚仪、电解测厚仪、超声波涂层测厚仪、薄膜测厚仪(测厚规)、X射线测厚仪等,可以从要测量的是产品的哪个部分来分类,也可以从测厚仪本身的测量原理来分,还可以从测量产品的底材是什么材料来分等等。根据所测量产品的具体实际部分来分,测量产品的整体的,比如金属板...

超声波涂层测厚仪的主要特点?
答:超声波涂层测厚仪PosiTector200特点 简便 -直接测量,无需校准即可满足大部分应用 -单手菜单操作 -灯光提示 --便于在嘈杂的环境中确定已获得测量结果 -重置功能可迅速将涂层测厚仪还原到出厂状态 耐用 -防酸、防油、防水、防溶剂、防尘,符合或超过 IP5X标准 -耐磨防腐蚀液晶显示屏 -防撞击橡胶保护套...

中板测厚仪特点
答:中板测厚仪具有显著的特点,首先,它的精度极高,不会产生辐射,确保了操作人员的安全。特别推荐的是LPM30C测厚仪,它在安全性能上表现出色。其次,测厚范围广泛,覆盖0至750毫米,适用于各种尺寸的中板测量,适应性强。它的响应速度极快,不受被测目标材质的影响,能够快速准确地获取厚度数据。测厚仪...