单晶硅,多晶硅生产流程。

作者&投稿:魏中 (若有异议请与网页底部的电邮联系)
~ 多晶硅的生产方法有多种,其中改良西门法是最主流的一种。以下是多晶硅生产的主要流程:
1. 氢气制备与净化工序:电解槽内经电解脱盐水制得氢气,经过冷却、分离液体后,进入除氧器,除去氢气中的微量氧气。除氧后的氢气通过吸附干燥器干燥,然后送入氢气贮罐,送往氯化氢合成、三氯氢硅氢还原、四氯化硅氢化工序。
2. 氯化氢合成工序:氢气和氯气在氯化氢合成炉底部燃烧,生成氯化氢气体。氯化氢气体经冷却、水冷却、深冷却后,送往三氯氢硅合成工序。
3. 三氯氢硅合成工序:硅粉与氯化氢气体在三氯氢硅合成炉内反应,生成三氯氢硅,同时生成四氯化硅、二氯二氢硅、金属氯化物、聚氯硅烷、氢气等产物。反应放热,合成炉外壁设置有水夹套,通过夹套内水带走热量维持炉壁的温度。
4. 合成气干法分离工序:合成气被分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢气体,分别循环回装置使用。
5. 氯硅烷分离提纯工序:氯硅烷液体送入不同精馏塔中进行分离提纯。
6. 三氯氢硅氢还原工序:精制的三氯氢硅与氢气混合,在三氯氢硅汽化器内加热汽化,送入还原炉内。在还原炉内,三氯氢硅发生氢还原反应,生成硅沉积下来,使硅芯/硅棒的直径逐渐变大。
7. 还原尾气干法分离工序:还原尾气被分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢气体,分别循环回装置使用。
8. 四氯化硅氢化工序:精制的四氯化硅与氢气混合,在氢化炉内发生氢化反应,生成三氯氢硅,同时生成氯化氢。
9. 氢化气干法分离工序:氢化气被分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢气体,分别循环回装置使用。
10. 氯硅烷贮存工序:氯硅烷液体送入贮槽,然后作为原料送至氯硅烷分离提纯工序的不同精馏塔。
11. 硅芯制备工序:采用区熔炉拉制与切割并用的技术,加工制备还原炉初始生产时需安装于炉内的导电硅芯。
12. 产品整理工序:在还原炉内制得的多晶硅棒被从炉内取下,切断、破碎成块状的多晶硅。
13. 废气及残液处理工序:含氯化氢工艺废气、含氟废气、含NOx废气等经处理后达标排放。
14. 废硅粉处理:废硅粉通过酸洗、过滤、干燥后返回到三氯氢硅合成循环使用。
15. 工艺废料处理工序:含酸废液、含氟废液、含硝酸钙溶液等经处理后达标排放或作为副产品外售。

单晶硅和多晶硅区别什么? 制造方法有何不同?
答:下面是单晶硅和多晶硅的一点资料 :多晶硅是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。被称为“微电子大厦的基石”。在太阳能利用上,单晶硅和多晶硅也发挥着巨大的作用。虽然从目前来讲,要使太阳能发电具有较大的市场,被广大的消费者接受,就...

多晶硅生产流程是什么?
答:甚至于几乎没有导电性。在化学活性方面,两者的差异极小。多晶硅和单晶硅可从外观上加以区别,但真正的鉴别须通过分析测定晶体的晶面方向、导电类型和电阻率等。多晶硅是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。

单晶硅哪几个生产流程(或车间)对身体有伤害?铸锭有伤害吗?请详细点...
答:3:我的公司和这方面有联系,所以本人也接触过不少关于这方面。总结的话,我本人所在工厂里和公司里接触的经验认为对人体没有多大的伤害,要是简单比喻就是我们在日常生活里在地面上接触的《石头》一样。这样认为就最简单了。平时自己怎么接触灰尘和石头的话,那就怎样接触单晶硅生产流程和铸锭它们就可以...

高纯度晶硅生产对人的危害?有了解高纯晶硅生产工艺的朋友吗?谢谢,最近...
答:高纯度晶硅生产就整体工艺过程对人体无害或很少伤害,我有个亲人在生产车间干了一辈子,直到正常退休。单晶硅片的生产工艺流程 单晶硅是从大自然丰富的硅原料中提纯制造出多晶硅,再通过区熔或直拉法生产出区熔单晶或直拉单晶硅,进一步形成硅片、抛光片、外延片等。直拉法生长出的单晶硅,用在生产低功率...

单晶硅生产工艺流程图
答:单晶硅的生产工艺:1.石材加工 一开始是石头(所有石头都含硅)。这块石头被加热后变成了液态。加热后变成气态,气体通过一个密封的大盒子。盒子里有N多个加热的子晶体,两端用石墨夹住。当气体通过盒子时,子晶体会将其中一种气体吸收到子晶体中,子晶体逐渐变厚。因为有些变成固体了,所以很慢,大概一个...

直拉单晶硅工艺技术
答:多晶硅可作为制作单晶硅的原料,也是太阳能电池和光伏发电的基础材料。单晶硅可算的是世界上最纯净的物质了,一般的半导体器件要求硅的纯度在6个9(6N)以上。大规模集成电路的要求更高,硅的纯度必须达到9个9(9N)。目前,人们已经制造出纯度为12个9(12N)的单晶硅。以上内容参考:百度百科-单晶硅 ...

单晶硅工艺流程及成本核算有谁知道?
答:多晶硅的生产工艺主要由高纯石英(经高温焦碳还原)→工业硅(酸洗)→硅粉(加HCL)→SiHCL3(经过粗馏精馏)→高纯SiHCL3(和H2反应CVD工艺)→高纯多晶硅 国内的多晶硅单价主要看纯度,纯度在9个9的很少,价格应该在2500以上了!详细价格不定,单晶硅生产工艺主要有两种,一种是直拉法,一种是区熔法...

单晶硅(多晶硅)提纯工艺研究分析及改进
答:改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢),氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。(1)石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并...

从硅料到太阳能电池片的生产流程,有谁知道?
答:太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测——表面制绒——扩散制结——去磷硅玻璃——等离子刻蚀——镀减反射膜——丝网印刷——快速烧结等。具体介绍如下: 一、硅片检测 硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低,因此需要对来料硅片进行检测。该工序主要用来对硅片的一些技术参...

晶圆生产和单晶硅、多晶硅的生产流程是什么关系?是上下流程的关系...
答:晶圆一般是单晶硅切片而成的,单晶硅生产常用CZ,Float Zone等方法,晶圆狭义是用作集成电路衬底(主要是因为硅的高性能氧化物),其他大多数纳米系统也一般用其作为衬底,主要是因为价格和普及度。由于制备方法和环境的不同,之后生长的硅(或者其他材料)可以会是多晶形态。光伏产业和集成电路的关系。。